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針對試樣的指定缺陷，對缺陷位置及周邊進行局部詳盡分析，獲取大量的微觀細節(jié)信息，以確診缺陷的本質(zhì)，并獲取造成缺陷根本原因。

缺陷分析常見的有：裂紋成因分析、硬度差異分析、表面異物分析、粗糙度分析、尺寸差異分析、夾雜物分析、脫碳分析等.....................

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